電子廠有機廢氣處理設備廢氣的光解氧化機理包含兩個過程：

1.廢氣物質中若某種*化學元素的含有量過高 (如 Cl、F 等) ，也會形成強化劑臭氧的天生量大大降低，終影響總體的催化功效。

2.含有大量高能粒子和高活性的安閑基的離子群體，與大分子氣體(如苯、甲苯等)作用，打開了其分子內部的化學鍵，轉化為無害的小分子物質。再生態的氧離子擁有很強的氧化性，它能有用的氧化分解不受負離子作用管制的有機物。和廢氣反應后有余的氧離子(正)，能與氧離子(負)很快融合并中性氧，因此不會更多地對設備及環境形成不利影響。

電子廠有機廢氣處理性能特點

1.UV光氧催化設備集漆霧過濾、氧化、裂解、吸附于一體，對于小風量、低濃度的有機廢氣處理效率更高；

2.可根據有機廢氣實際成分靈活調整各個處理程序的比重，凈化效果更好；

3.設備為多個有機廢氣處理方式的一體化集合，整機安裝方便，操作簡單；

4.設備整體功率小，占地面積小，操作簡單，后期運行成本低。

對VOCs有機廢氣、非甲烷總烴、以及《國家惡臭污染控制標準》中規定的八大惡臭物質（氨、硫化氫、二硫化碳、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、三jia胺、苯乙烯）以及苯、甲苯、二甲苯等廢氣均能有效治理凈化，特別適合處理各種惡臭廢氣、腐臭廢氣、噴漆廢氣、噴涂廢氣、電泳廢氣、電鍍廢氣、印刷印染廢氣、生物制藥廢氣、廢水污水臭氣廢氣、污泥臭氣處理等均有明顯效果。UV光氧催化設備可以處理不適合采用等離子設備的廢氣，如噴漆廢氣、噴涂廢氣、化工廢氣、含汽油酒精廢氣、含天那水廢氣、油漆廠廢氣、化肥廠廢氣等。